近日，我校电气工程学院安跃军教授率领科研团队负责的国家科技重大专项项目课题“智能干泵电机的研发与应用”（编号：2017ZX02201005-002），超额完成研究任务和考核指标，顺利通过验收。
项目以国家真空仪器装置工程技术研究中心与真空技术装备国家工程实验室为基础，以中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司为产业化基地，与我校和东北大学构建产学研协同创新联盟。掌握了新一代高效节能真空干泵制备技术，研制开发了5个型号具备智能控制、故障诊断、远程运维以及自适应功能的高效节能、小体积大抽速干泵新产品。
我校科研团队在承担实施项目的过程中，针对新一代高效节能真空干泵对动力驱动系统提出的特殊要求，研究开发了由新型拓扑结构屏蔽电动机和智能调速控制器构成的高效动力驱动系统，实现高效率、低能耗、小体积和耐腐蚀的介质传输，且具有高性价比的特点，益于实现产业化，提高市场竞争力。
搭载智能干泵电机的新一代高效节能真空干泵新产品，已在中芯国际集成电路制造有限公司等多家用户进行考核认证，各项技术指标均达到考核要求。项目成果同步实施产业化，形成新型智能干泵电机系列新产品，已完成了研发、中试和试用考核，形成了批量生产能力。该项目旨在解决大规模集成电路和高端电子芯片国产化关键核心技术问题，打破国外一直以来的技术封锁和装备垄断。
